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潔凈室(俗稱凈化間)是空氣懸浮粒子濃度受控的房間,它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子,室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)溫度、濕度、壓力等按照要求進(jìn)行控制。潔凈室以單位體積空氣某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分潔凈程度。
環(huán)境指的是無塵車間或無塵室,無塵室(或車間)的幾個(gè)基本要素是:溫度,濕度,風(fēng)速,潔凈度(又稱含塵量)。溫度、濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的空間。
按空氣中懸浮粒子濃度來劃分。一般來說,數(shù)值越小,代表凈化級(jí)別越高。即十級(jí)>百級(jí)>千級(jí)>萬級(jí)>十萬級(jí)>三十萬級(jí)>百萬級(jí)。
通常空氣中含塵濃度低則空氣潔凈度高,含塵濃度高則空氣潔凈度低。以每立方米空氣中的最大允許粒子數(shù)來確定其空氣潔凈度等級(jí)。
一
百級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
100級(jí)潔凈間的氣流形式是層流方式,空氣以均勻的斷面速度沿平行流線流動(dòng),與流體力學(xué)的層流概念不太相同,具體講就是垂直層流回風(fēng)。和百級(jí)以上潔凈間所采用的混流或亂流方式(即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動(dòng))相比較,它具有效果完全、運(yùn)轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、粉塵堆集與再漂浮極少,以及管理容易等優(yōu)點(diǎn),但是設(shè)備造價(jià)非常高,維護(hù)費(fèi)用也很高。
01
潔凈度
粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不能大于100個(gè)。
02
壓差及溫濕度
溫度22℃±2;濕度55%±5;基本需要滿布ffu,做高架地板。做MAU+ffu+DC系統(tǒng)。還有保持正壓,相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
03
照度
由于無塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求,而且又都是密閉性房屋,所以,對(duì)照明一向有很高的要求。主要有以下幾點(diǎn):
局部照明:這是指為増加某一指定地點(diǎn)的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明中一般不單獨(dú)使用局部照明。
混合照明:指工作面上的照度由一照明和局部照明合成照明,其中,一般照明的照度應(yīng)占總照度的10%-15%。
二
千級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
要了解千級(jí)潔凈室,我們先來了解“無塵”這個(gè)概念。按照國(guó)際慣例,無塵凈化別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
01
潔凈度
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
02
壓差及溫濕度
對(duì)于大部分凈化無塵車間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力;潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間。壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過潔凈室的各種隙時(shí)的阻力。
溫濕度:常規(guī)是溫度22±2度,濕度55%±5。
三
萬級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
世界各國(guó)均有自定規(guī)格,但遍依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard(FS)209E,19921.可將無塵室分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí),如果無塵室的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5um,例如,1級(jí)10級(jí)、100無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5um,無塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來表示。例如:10級(jí)在0.2um(塵粒尺寸在0.2pm或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。
01
潔凈度
潔凈度10000級(jí)cleanliness class10000(P2萬級(jí)實(shí)驗(yàn)室即S07級(jí))即大于等于0.5um的塵粒數(shù)大于35000粒/m3(35粒/)到小于等于35000粒/m3(350粒/于等于5um的塵粒數(shù)大于300粒/m3(0.3粒)到小于等于3000粒/m3(3粒壓差及溫濕度控制。
02
溫度
干盤管系統(tǒng)控制。
03
濕度
空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測(cè)的信號(hào)控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進(jìn)水量。
04
正壓
空調(diào)箱調(diào)節(jié),根據(jù)靜壓感測(cè)的信號(hào),自動(dòng)調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達(dá)變頻器的頻率,從而調(diào)節(jié)進(jìn)入室內(nèi)的新風(fēng)量。
05
檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)
氣流速度及其均勻度檢測(cè),是無塵室效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提,這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。
a.室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)
潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別,可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。
b.自凈時(shí)間的檢測(cè)
通過確定自凈時(shí)間,查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。
c.照度的檢測(cè)
照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。
d.振動(dòng)的檢測(cè)
振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明無塵室各表明的振動(dòng)幅度。
e.溫、濕度的檢測(cè)
溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)無塵室的送風(fēng)溫度,檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度,檢測(cè)無塵室中心點(diǎn)的空氣溫度,檢測(cè)敏感元件處的空氣度,檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度,檢測(cè)回風(fēng)溫度。
四
10萬級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
10萬級(jí)凈化車的潔凈度算起來并不算太高,包括一般的電子,食品飲料,醫(yī)療器械化妝品廠等。
01
潔凈度
100000(10萬)級(jí)潔凈室是指工作車間里面每立方米的微??刂圃?0W以內(nèi)潔凈室的生產(chǎn)車間主要應(yīng)用于電子行業(yè)和藥品行業(yè),食品行業(yè)如果有10萬級(jí)的生產(chǎn)車間是相當(dāng)不錯(cuò)的。10000(10萬)級(jí)潔凈室要求每小時(shí)換氣15-19次,完全換氣后空氣凈化時(shí)間不超過40分鐘。
02
壓差
相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致,對(duì)于不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要5Pa,潔凈室與非潔凈室之間要>10pa。
03
溫濕度
十萬級(jí)潔凈室對(duì)溫度、濕度無特殊要求時(shí),以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜,溫度般控制在冬季20~22℃夏季24~26℃C波動(dòng)±2C。冬季潔凈室濕度控制在30-50%夏季潔凈室濕度控制在50-70%。照度潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜>300Lx:輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣室、走廊等的照度值宜為200~300L。
04
送風(fēng)量或風(fēng)速
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣,根據(jù)不同的潔凈度要求,當(dāng)潔凈室凈高較高時(shí),適當(dāng)增加換氣次數(shù)。當(dāng)10萬級(jí)潔凈室高效過濾器集中布置在機(jī)房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時(shí),可適當(dāng)提高換氣次數(shù)10-20%.
五
30萬級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)
空氣潔凈度是潔凈環(huán)境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度。通??諝庵泻瑝m濃度低則空氣潔凈度高,含塵濃度高則空氣潔凈度低。按空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔凈度等級(jí),就是以每立方米空氣中的最大允許粒子數(shù)來確定其空氣潔凈度等級(jí)藥廠房一般有萬級(jí),十萬級(jí)和三十萬級(jí),其中以十萬級(jí)(灌裝,內(nèi)包裝)及三十萬級(jí)最多,十萬級(jí)較三十萬級(jí)潔凈度衛(wèi)生要嚴(yán)格很多。
01
潔凈度
每立方米大于或等于0.5um的塵粒最多不能超過10,500,000個(gè);每立方米大于或等于5um的塵粒最多不能超過60,000個(gè);每立方米浮游菌數(shù)量最多不能超過1000個(gè)。
02
壓差及溫度控制
壓差:不同潔凈級(jí)別室(區(qū))之間,靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區(qū))與室外,靜壓差大于或等于10PA。
溫濕度:溫度一18~28℃;濕度一-45~65%。換氣次數(shù):每小時(shí)換氣次數(shù)不能小于12次。
六、百萬級(jí)化車間標(biāo)準(zhǔn)
潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。
01潔凈室的空氣潔凈度測(cè)試
空態(tài)測(cè)試:潔凈室已竣工,凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài),室內(nèi)沒有工藝設(shè)備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
靜態(tài)測(cè)試:潔凈室凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)已處于正常運(yùn)行狀態(tài),工藝設(shè)備已安裝,室內(nèi)沒有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測(cè)試。
動(dòng)態(tài)測(cè)試:潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測(cè)試潔凈室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測(cè),可按一般通用、空氣調(diào)節(jié)的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
百萬級(jí)空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)每立方米大于等于0.5um的塵粒數(shù)不能大于3520000個(gè);每立方米大于等于1um的塵粒數(shù)不能大于832000每立方米大于等于5um的塵粒數(shù)不能大于293000。
02送風(fēng)量或風(fēng)速
足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣,根據(jù)不同的潔凈度要求,當(dāng)潔室凈高較高時(shí),適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中,100萬級(jí)潔室的通風(fēng)量是按高中效浄化系統(tǒng)考慮,其余均按高效浄化系統(tǒng)考慮。
一般要經(jīng)過初效過濾、中效過濾、高效過濾三個(gè)過濾段(甚至還有超高效過濾器,四段過濾)。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效凈化,重復(fù)這樣的一系列過程,即可達(dá)到凈化的目的。
是否需要做凈化工程,取決于你的工廠生產(chǎn)類型;而你的無塵車間做到什么凈化潔凈度,也是根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求,合適就好。